1、如果還不能滿足要求，可在羅茨泵上方再串聯(lián)油擴散泵，極限真空度可達00001Pa，但其價格較高，建議選用羅茨旋片真空機組，目前國內(nèi)做的最小的羅茨旋片機組為ZJ15羅茨真空泵15Ls＋“2X－4”旋片式真空泵。
2、1 抽氣速度快往復(fù)式真空泵的抽氣速度較快，可以快速將氣體抽出，適用于需要快速達到高真空度的場合2 抽真空范圍廣往復(fù)式真空泵可以在較高的壓力范圍內(nèi)工作，可以抽取大部分氣體分子3 結(jié)構(gòu)簡單往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)相對簡單，易于維護和保養(yǎng)4 耐用性好往復(fù)式真空泵的部件相對堅固，使。
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