(羅茨真空泵的維修技術(shù)教程)

1、串連機(jī)械泵，如旋片泵水環(huán)泵往復(fù)泵等；羅茨真空泵一般作為前級(jí)泵使用，與水環(huán)真空泵和螺桿真空泵組合形成真空機(jī)組；真空泵的抽速不是恒定的，羅茨泵組的抽速取決于前級(jí)泵和羅茨泵各自的抽速，兩個(gè)泵同時(shí)啟動(dòng)，由于一般羅茨泵的抽速比前幾泵的抽速快好多，當(dāng)羅茨泵進(jìn)氣口和出氣口的壓差達(dá)到羅茨泵設(shè)計(jì)的壓差時(shí)，主要前級(jí)泵在抽氣，一般；如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡(jiǎn)單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好 如果僅作較大。

2、如果是靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)將氣體吸入壓縮并排出的真空泵，如往復(fù)真空泵旋片真空泵滑閥真空泵羅茨真空泵，產(chǎn)生噪音的原因很大程度來自活塞的磨損應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行真空泵在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低。

3、真空泵是一種將氣體從封閉容器或系統(tǒng)中抽出，使其內(nèi)部形成真空狀態(tài)的設(shè)備它在許多領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，以下是真空泵的主要用途和作用1 半導(dǎo)體制造在半導(dǎo)體制造過程中，需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，以避免雜質(zhì)和污染。

4、如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺(tái)羅茨泵與水環(huán)泵組合，它的極限壓力可以達(dá)到1Pa倘若三級(jí)水環(huán)機(jī)組還是不能滿足極限壓力的時(shí)候，我們可以采用水環(huán)泵并聯(lián)機(jī)械真空泵這個(gè)機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽，時(shí)間長(zhǎng)且極限真空。