(半導(dǎo)體真空泵維修方法)
半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設(shè)備，真空清掃等等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有害的物質(zhì)氣體，會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)1定期清洗真空泵及其他附件過濾管道，避免超壓半導(dǎo)體真空；1容積變化泵如旋片泵和渦...